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真空继电器按机理可分为力学型、热导型、电离型，分别用在低真空、中真空、高真空和超高真空的不同范围内。常见的有热电阻真空继电器、薄膜真空继电器、弦丝式真空继电器、冷规式真空继电器、毫伏计电子式真空继电器、光敏电阻真空继电器等。
按一次传感元件的不同可分为无触点和有触点两大类。除压缩真空计（麦克劳真空计）外，任何一种真空测量仪器均可作为真空继电器的一次传感元件（信号）。
螺杆式真空泵-凡是以电参数表征真空度的真空测量仪器均可配备继电器线路，组成无触点式真空继电器。它由规管和测量控制线路组合而成，规管将真空系统中的残余气体压力转换为电参量，然后由测量控制线路接收并放大这种信号，进而输出信号实现控制。各种规管不用直接接触即可完成物理量转换电参量的过程，就是无触点式区别于触点式真空继电器的特征。
螺杆式真空泵-触点式继电器目前多适用于低真空。与无触点式类似，也是由一次信号规头和二次信号装置的电气系统构成。规头将非电参量转换成电信号，通过电控箱放大，控制并输出给被控对象，达到对负载的自动控制或保护目的。不同规头结构会有所不同，但究其原理都是依靠弹性元件在不同真空度下发生弹性变形或导液柱的位移，在触点位置一定时，使电路导通从而使中间继电器的线圈通电或断电。
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